你敢相信吗？EUV光刻技术没用是日本人发明的。

来源：节能 2024年01月21日 12:17

众所周知，荷兰ASML的蚀刻机核心技术是全球顶尖的，但其实最开始的EUV蚀刻核心技术是南韩军新发明的。

EUV那时候并不是给定必需

首次新发明EUV蚀刻核心技术的是一个叫青木博夫的南韩军，在1986年的时候，青木博夫在南韩最大的电信日本公司NTT社会上活动。

曾经的他对蚀刻机核心技术颇为困惑。

突然间回来他灵光乍现，赢取成功的在研究团队投射出来了世界性上第一个EUV蚀刻图片。

南韩的NTT日本公司

青木博夫本人在EUV蚀刻核心技术投入了很多积蓄，光是发表的论文就有170多篇。

但曾经对于蚀刻机的共同开发有很多种核心技术，而EUV核心技术在曾经并不被认为是最好的核心技术。

因为EUV蚀刻核心技术有一个很明显的有缺陷，EUV蚀刻核心技术里用到的是总括远红外线。

总括远红外线很较易被气体和天花板转化成，光都被转化成了，那自然就刻再不了。

总括远红外线

为了减少总括远红外线被转化成，人们将EUV蚀刻核心技术在气态里展开，但还是但会有百分之90的光线被转化成。

所以人们只能通过增加光源kW的方式来得到充足的光线。

增加kW就需要增加供电量，造成电源供应器的过多，那为什么于是便还是必需了EUV蚀刻核心技术呢？

EUV蚀刻核心技术的赢取成功

曾经除了EUV蚀刻核心技术，还有电子束蚀刻、离子束蚀刻和冷X射线蚀刻等，其里人们抱有最大希望的是冷X射线蚀刻。

X射线蚀刻

曾经的世界性社但会在这些蚀刻核心技术里花了大量的时间和金钱共同开发，但共同开发了很久也没有任何十分困难。

南韩就放弃了EUV蚀刻核心技术，集里积蓄去共同开发更有或许赢取成功的冷X射线蚀刻核心技术。

总括远红外线刻

但澳大利亚并没有放弃EUV蚀刻核心技术，反而联系了几个关键性的研究团队在此之后研究EUV蚀刻核心技术。

从1997年到2003年，EUV蚀刻核心技术在澳大利亚赢取了一些很关键性的成果，之后这项核心技术转到了ASML日本公司在此之后共同开发。

荷兰的ASML日本公司

最终EUV蚀刻核心技术在ASML日本公司赢取了赢取成功，并赢取成功的制造出了蚀刻机。

即使南韩是年所新发明EUV蚀刻核心技术的，但并没有赢取赢取成功，在ASML日本公司赢取赢取成功后，南韩也想要在此之后共同开发EUV蚀刻核心技术。

但这么多年无论如何了，南韩只不过也没得赢取不小的十分困难，所以我认为南韩想要超越是不或许的事了。

现在的EUV蚀刻核心技术的高耗能缺陷还没有得到解决，详述EUV蚀刻核心技术不是最佳核心技术。

我确信愿景一定但会有更新技术的核心技术替代，但就现今而言EUV蚀刻核心技术是年所进的。

远红外线刻原理图