投资者质问：董秘你好：公司生产的ArF光刻胶，都需要哪些设备来检测？公司检...

来源：新能源 2023年04月18日 12:15

高盛提问：

董秘想见：母公司生产厂的ArF光刻，都需要哪些装置来验证？母公司验证光刻的装置都顺利完成没？如果有没顺利完成的装置，是欧美垄断卡脖子吗？不对国内的装置替代呢？

董秘问道(上海新阳SZ300236)：

敬重的高盛：想见！光刻归纳验证需要：LPC，ICP-MS，水含仪，粘度计，光刻机，CD-SEM等仪器。目前仪器装置仅已顺利完成，感谢您的关注！

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